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就比如风车国的AMSL公司,这家全球最顶尖的光刻机生产公司,他们生产的光刻机,其配件来自世界各地。
而其中的关键,雕刻用的刀具就来自米国的光源、日耳曼国的镜头和机械技术。
就拿光刻机中的反射镜来说,如果反射镜的面积放到到整个日耳曼国那么大,那么最高凸起不能超过一厘米。
其镜片的打磨难度可想而知有多大。
但这些东西只有做到了真正意义上的顶尖,才符合制造顶尖光刻机的要求。
其他国家根本就没有能力去生产这些顶级的东西。
而然即便是这样,目前世界上顶级光源在精度上也没法超过两纳米。
因为光源的波长限制了。
目前米国提供给AMSL公司的光源是极紫外光,也是最先进的‘EUV光刻机’上使用的光源。
这种光源的波长能控制到十纳米,已经是极限了。
不过利用平滑衍射效应、光强调节等复杂的曝光控制系统,它能对低于十纳米的曝光区域进行曝光雕刻处理。
这也是为什么十纳米的波长光源能生产出五纳米芯片的原因。
但皮米级的芯片,光源的波长恐怕得控制在一纳米以下。
一纳米的光波长度啊,听起来就让人感觉匪夷所思不可思议。
要知道一个光子能量的多少与波长和频率相关,波长越短,频率就越快,能量越高。
频率越快,能量越高,对光源的控制和收集也就越难。
就目前的极紫外光,光源工作时,需要以5万次/秒的频率,用功率20千瓦的激光来击打真空中20微米大小的锡滴,使液态锡汽化为等离子体,从而产生波长短的极紫外光。
而产生还只是第一步,产生之后,这些波长极端的光源会在真空中乱跑,还需要再将这些极短波长的极紫外光进行收集集中,变成可用于雕刻的光刀。
说实话,光是这些,这已经可以说是突破了人类脑洞的技术了。
紫光是所有光波里面波长最短的光波,越是靠近紫光,波长越短。
而极紫外光在上面进一步缩短了波长。
世界上能做到提供十纳米级极紫外光的国家,目前还只有一个,那就是米国。
从研发出十纳米级的极紫外光到现在,已经过去了不少年了,但没有任何一个科学家能想出进一步将极紫外光波长再缩短的想法。
对,就是想法都没有,而不是有了想法无法实现。
所以全世界的科学家压根就没法想象一纳米级波长的光源到底是怎么制造并控制的。
对于直播间内观众的提问,韩元只是笑了笑,没有否认也没有确认,而是将目光投向桌面上铺开的光刻机图纸,接着道:
“这一次我制备的光刻机,其所有的结构图纸都在这里了。”
“其主体总共分成激光发生器、能量控制器、光度控制器、
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